渦旋式無油機械真空泵是從渦旋式壓縮機演變而來的一種新型的干式機械真空泵。 

    渦旋式無油機械真空泵的工作原理。構(gòu)成渦旋式真空泵抽氣用渦旋體的曲線為漸開線。固定的渦旋體稱定子，轉(zhuǎn)動的渦旋體稱轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子無自轉(zhuǎn)而以一定的回轉(zhuǎn)半徑平動公轉(zhuǎn)。隨著轉(zhuǎn)子的平動公轉(zhuǎn)，在兩個渦旋體之間形成了吸氣腔和壓縮腔。吸入氣體后的工作腔的容積隨著轉(zhuǎn)子的運動而縮小，從外圈向中心移動排出氣體，連續(xù)完成了吸氣、壓縮和排氣過程。   

    為了減輕泵渦旋體的重量，其基材用鋁，在表面上涂鍍一層特殊性能的聚四氟乙烯，以增加耐磨性和耐腐蝕性。該泵渦旋體間相鄰工作腔的壓差小 , 故氣體泄露量小 , 泵的驅(qū)動轉(zhuǎn)矩變化小，因此泵的噪昔低、振動小。   

    該泵特點是重量輕、體積小，為臥式結(jié)構(gòu)，可以從大氣壓力下直接抽到10-1Pa，是一種使用范圍很寬的粗抽用干式真空泵。