自1985年啁啾脈沖放大技術(shù)發(fā)明以來(lái)，許多研究小組對(duì)強(qiáng)飛秒激光脈沖與物質(zhì)的相互作用進(jìn)行了廣泛的研究。通過(guò)這些研究，目前利用飛秒激光技術(shù)進(jìn)行高精度材料加工的過(guò)程已經(jīng)在工業(yè)界找到了創(chuàng)新性的應(yīng)用機(jī)會(huì)。與傳統(tǒng)激光器相比，飛秒激光材料加工技術(shù)可以顯著減少材料上的熱效應(yīng)。這是因?yàn)轱w秒激光脈沖將能量傳導(dǎo)到材料中所需要的時(shí)間比光電耦合的時(shí)間要短，能量還來(lái)不及被擴(kuò)散到周?chē)浇橹校軣岬牟牧暇鸵呀?jīng)被噴射出來(lái)了。 此外，飛秒激光脈沖聚焦后所具有的光強(qiáng)峰值高，因此，它不只可以加工透明材料的表面，也能夠進(jìn)行內(nèi)部結(jié)構(gòu)的加工。與傳統(tǒng)激光加工技術(shù)相比，飛秒激光加工技術(shù)的這些優(yōu)勢(shì)為它開(kāi)拓了廣泛的應(yīng)用前景。 表面納米級(jí)周期結(jié)構(gòu)的加工 最近的研究指出，利用飛秒激光器來(lái)進(jìn)行表面納米級(jí)周期結(jié)構(gòu)的加工有助于材料表面的功能化。當(dāng)飛秒激光對(duì)材料表面進(jìn)行輻照時(shí)，具有亞微米級(jí)周期率的納米級(jí)周期結(jié)構(gòu)能夠以一種自組裝的方式自動(dòng)生成。圖1給出了在硅晶圓上所形成的這類(lèi)結(jié)構(gòu)，而這種結(jié)構(gòu)還可以在金屬、陶瓷材料、半導(dǎo)體和玻璃等材料中形成。這項(xiàng)技術(shù)的主要應(yīng)用包括：減小精密滑動(dòng)零件的摩擦損耗，比如汽車(chē)引擎元件；改善涂層的粘結(jié)強(qiáng)度；防止微粒的吸附；控制濕潤(rùn)性。佳能機(jī)械公司制造并銷(xiāo)售一種飛秒激光表面加工系統(tǒng)——Surfbeat R，它配備了Cyber激光公司的工業(yè)級(jí)飛秒激光器IFRIT。 平面顯示器的切割過(guò)程 新一代平面顯示器要求玻璃的切割過(guò)程采用加工速度快且質(zhì)量高的激光技術(shù)。這是因?yàn)槭褂脗鹘y(tǒng)的金剛石刀片切割技術(shù)很難提高產(chǎn)量。使用這項(xiàng)新型玻璃切割技術(shù)時(shí)，飛秒激光脈沖被聚焦到玻璃基底的后表面來(lái)進(jìn)行刻線。因?yàn)榧す獾拿}寬短，所以激光能量被局域空間的非線性電離過(guò)程吸收，從而能夠?qū)ΣＡУ暮蟊砻孢M(jìn)行加工，而不影響前表面。在后表面附近聚焦的飛秒激光脈沖在玻璃基底內(nèi)產(chǎn)生了小孔，這些小孔一直延伸到后表面上。對(duì)沿著切割線的小孔進(jìn)行排列，玻璃基底在機(jī)械應(yīng)力或者熱沖力作用下很容易斷開(kāi)。 速度超過(guò)400mm/s的高速玻璃切割已經(jīng)在無(wú)堿玻璃和硼硅玻璃中得到了成功的實(shí)踐，所使用的是新開(kāi)發(fā)的重復(fù)頻率為50kHz、功率為5W的飛秒激光器。這項(xiàng)技術(shù)也可以被用于雙層玻璃基底的切割。 雙波長(zhǎng)式材料加工技術(shù) 對(duì)于透明材料的微加工來(lái)說(shuō)，使用深紫外（DUV）飛秒激光比近紅外（NIR）飛秒激光更有利，因?yàn)樵S多透明材料對(duì)DUV的吸收很強(qiáng)，而且，飛秒激光所具有的超短脈寬能夠避免不必要的熱效應(yīng)。但是，從基頻光到DUV飛秒激光的轉(zhuǎn)換效率很低，這就給加工速度帶來(lái)了限制。最近開(kāi)發(fā)的雙波長(zhǎng)式飛秒激光技術(shù)能夠克服這個(gè)困難。該技術(shù)使用了雙脈沖式的飛秒激光，它包括了波長(zhǎng)260 nm的DUV預(yù)脈沖和隨后波長(zhǎng)為780 nm的NIR主脈沖，該技術(shù)既提高了燒蝕效率，又改善了燒蝕質(zhì)量。260 nm DUV預(yù)脈沖的作用是產(chǎn)生電子—空穴等離子體，以提高材料對(duì)于預(yù)脈沖后780 nm NIR主脈沖的吸收率，同時(shí)預(yù)脈沖還能夠降低780 nm脈沖相對(duì)于作用區(qū)域的透射率。 圖4給出了分別由NIR飛秒激光和雙波長(zhǎng)式飛秒激光脈沖在硼硅玻璃表面得到的刻槽。使用780nm NIR飛秒激光進(jìn)行燒蝕得到的材料表面上可觀察到微裂痕，亞表面則有破壞現(xiàn)象（如圖4a）。而另一方面，如果使用雙波長(zhǎng)式飛秒激光來(lái)進(jìn)行燒蝕，燒蝕質(zhì)量和效率可以得到顯著的提高（如圖4b）。這里，260 nm DUV預(yù)脈沖780 NIR主脈沖之間的時(shí)間間隔是0 ps。260nm DUV預(yù)脈沖和780 nm NIR主脈沖之間時(shí)間間隔的最佳值是由能量沉積和耗散之間復(fù)雜的相互關(guān)系來(lái)決定的，因此它取決于材料的類(lèi)型。與僅使用NIR飛秒激光相比，其燒蝕體積提高了近十倍。 對(duì)于圖4的情況來(lái)說(shuō)，260nm DUV預(yù)脈沖和780 nm NIR主脈沖的能量沉積分別是由于線性吸收和雙光子吸收。這項(xiàng)技術(shù)可以被用來(lái)加工帶隙較寬的材料，因?yàn)?60nm脈沖的能量沉積是以非線性的方式進(jìn)行。 到目前為止，在近紅外飛秒激光對(duì)透明物質(zhì)的燒蝕過(guò)程中，燒蝕質(zhì)量和效率之間是相互制約的。但是，雙波長(zhǎng)式飛秒激光技術(shù)能夠同時(shí)改善這兩個(gè)方面。目前，這項(xiàng)新穎的飛秒激光燒蝕技術(shù)被應(yīng)用在基底材料上絕緣層的修整和微流體設(shè)備的制作，在這些加工過(guò)程中，高功率和高質(zhì)量是非常重要的。 飛秒激光解決方案 在2004年，Cyber公司生產(chǎn)的IFRIT飛秒激光器（180 fs，1 mJ，1 kHz）能夠正常運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間超過(guò)10000小時(shí)，并且無(wú)需任何維護(hù)。為了進(jìn)一步保障其穩(wěn)定性，激光器還配備了一套自動(dòng)化功率管理系統(tǒng)（APMS），該系統(tǒng)能夠?qū)す廨敵龉β蔬M(jìn)行自動(dòng)調(diào)整。該激光器即使在環(huán)境變化的情況下，如溫度和濕度，也能維持穩(wěn)定的激光輸出功率。對(duì)于需要更高輸出功率的情況，高功率、 50kHz、5W的飛秒激光器也已實(shí)現(xiàn)商業(yè)化。IFRIT激光器用戶可享有Michigan大學(xué)第3283265號(hào)專(zhuān)利的使用授權(quán)。