快速成長的光伏產(chǎn)業(yè)需要設(shè)備供應(yīng)商們提供許多解決方案，包括提高產(chǎn)出、成品率和降低擁有成本。激光的應(yīng)用在這些方面起著越來越重要的作用。 粗看太陽能產(chǎn)業(yè)的設(shè)備供應(yīng)與已成熟的微電子和顯示產(chǎn)業(yè)相似。然而，太陽能產(chǎn)業(yè)的快速成長和不斷動態(tài)變化向所有企圖在太陽能產(chǎn)業(yè)的供應(yīng)鏈中站穩(wěn)腳跟的設(shè)備供應(yīng)商們呈現(xiàn)出一系列新的挑戰(zhàn)。大量電池和面板制造商涌入這個行業(yè)，進一步加劇了問題的復(fù)雜性，已有的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商對這些新入行的制造商并不熟悉。 盡管許多太陽能終端用戶使用激光工具已有一段時間，激光工具的有關(guān)工藝對于太陽能產(chǎn)業(yè)是特定的，擁有一套非常不同的工藝參數(shù)。我們在本文中回顧已有的和新出現(xiàn)的激光應(yīng)用，并討論激光加工將怎樣以及為何在太陽能技術(shù)路線中起到越來越重要的推動作用。我們還特別研究那些目前從事或即將進入設(shè)備供應(yīng)鏈的供應(yīng)商們所面臨的新挑戰(zhàn)。 由于多種太陽能電池技術(shù)在相互爭奪市場份額，人們研究各種方案降低最終模塊對消費者的每瓦特成本（$/W），因此取決于所研究的終端使用物的類型不同（晶體硅或薄膜），設(shè)備供應(yīng)商們可能面臨著非常不同的需求。但是，我們可以泛泛地將這些產(chǎn)品分成一些普通種類（圖1）。一般終端使用物專用的設(shè)備由這些類別的子集來驅(qū)動，受到特定的電池技術(shù)及其成本縮減技術(shù)藍圖的綜合作用。高效概念 提高太陽能電池和面板的效率幾乎是全球每位太陽能廠商最急于實現(xiàn)的愿望。大多數(shù)已提出的技術(shù)藍圖清晰指出，5年后晶體硅（c-Si）太陽能電池的效率將增長3-5%，平均值將達到16-20%。對于薄膜太陽能面板，總體效率較低，但也有望獲得相應(yīng)提高。比如，從單結(jié)非晶硅（a-Si）結(jié)構(gòu)向串聯(lián)結(jié)a-Si/mc-Si（微非晶）結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)化，通過提高光譜吸收率可將電池效率約提升4%，面板總體效率將提升至10%1。 現(xiàn)在c-Si電池產(chǎn)商追求高效電池概念最積極，這是他們在現(xiàn)有產(chǎn)品線及產(chǎn)能擴張方案中需要反復(fù)提高的部分。激光技術(shù)將在新型上表面和背面加工階段起重要作用2。比如，在金屬環(huán)繞穿通（MWT）器件中，較薄的金屬接觸“手指”被移到背面。在發(fā)射極環(huán)繞穿通（EWT）器件中，傳遞功率的母線也被轉(zhuǎn)移至背面，使得上表面完全沒有金屬。通過鉆微型通孔，將上表面與下表面接觸連接起來，就可以實現(xiàn)這一點。利用WMT，每塊硅片需要鉆約200個通孔。而EWT要求每塊硅片上有高達2萬個這種通孔。激光鉆孔是唯一可能滿足商業(yè)規(guī)模速度的工藝。同時激光器還可用于形成新型結(jié)構(gòu)，如激光燒制接觸（LFC），這種結(jié)構(gòu)對于支持某些先進的薄硅片產(chǎn)品是必須的。為完全滿足這些不同工藝，設(shè)備供應(yīng)商們應(yīng)集成平均功率大（高達數(shù)十瓦特）的激光器，可選擇輸出紅外光（IR）、可見光或紫外（UV）光，擁有納秒或皮秒脈沖性質(zhì)以及優(yōu)異的光束性質(zhì)，M2參數(shù)約為1.1（M2約等于1.0代表理論上可完全聚焦的激光束）。 “綠色”設(shè)備 當前太陽能生產(chǎn)線的設(shè)備供應(yīng)包括各種各樣的競爭方案，部分方案利用有毒化學(xué)物質(zhì)，制造有毒廢物。如現(xiàn)在工廠廣泛應(yīng)用絲網(wǎng)印刷和濕法刻蝕，它們利用現(xiàn)有適用于太陽能生產(chǎn)的成套生產(chǎn)線設(shè)備。不過太陽能是一種替代能源和“可再生”的能源類型，碳排放量幾乎為零，因此只要可能，就有采用綠色生產(chǎn)設(shè)備的強烈動力。 利用DPSS激光進行邊緣隔離不僅更加環(huán)保，還提高了成品率和器件效率。特別由于晶體硅在這些較短的波長處可以吸收更多光，電流產(chǎn)生系統(tǒng)現(xiàn)在更加依賴工作在可見光（532 nm）或紫外（355 nm）波段的DPSS激光器4。硅對355 nm光波的吸收量比對紅外（1064 nm）光波的吸收量大四到五個數(shù)量級，因此利用Q-轉(zhuǎn)換UV DPSS激光器（圖3）可以實現(xiàn)高度本地化的上表面刻蝕。除射入深度較淺外，紫外波長還可以在較低的溫度下獲得較窄的溝槽，對外圍溫度損傷如微裂紋盡可能少，微裂紋可能會大大影響成品率。這就使溝槽能置于距離器件邊緣較近的地方，減少“死”區(qū)，從而使電池的效率最大化。 擁有成本 太陽能電池和面板的制造成本是永恒的話題，因為它對傳遞至最終的太陽能裝置的成本$/W有很大影響。人們通常通過降低原材料成本或通過采用具有最低資本支出和運行成本的生產(chǎn)線設(shè)備，來降低成本。 DPSS激光器提供了一種理想的解決方案，主要是由于這種激光器的運行成本很低。此外，太陽能產(chǎn)業(yè)還可立即從已在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中大規(guī)模采用的實業(yè)驗證激光器設(shè)計上獲益。這些繼承應(yīng)用為正常運行時間、備用部件的可得性和現(xiàn)場服務(wù)相應(yīng)樹立了目標水平。比如，有種在紫外波段工作的高功率激光器擁有數(shù)十瓦的輸出，當以全功率工作時，五年內(nèi)每周工作七天，每天24小時時，這種激光器的全負載運行成本通常為3-5美元/小時。 成品率 盡管太陽能電池生產(chǎn)僅需較低的技術(shù)和較少的工藝步驟，由于多方面原因，電池成品率還是落后于半導(dǎo)體的生產(chǎn)水平。其中包括由于在大批量生產(chǎn)環(huán)境中安裝和優(yōu)化新型精密設(shè)備工具帶來的問題，以及來自保持合理的正常運行時間、無故障運行的挑戰(zhàn)。因此以往在太陽能產(chǎn)業(yè)，成品率優(yōu)化對于較長的設(shè)備交貨期和由此導(dǎo)致的倉促安裝設(shè)備及生產(chǎn)太陽能電池來滿足市場需要等問題，起著第二位的作用。底線是：在太陽能行業(yè)成品率水平低于90%并非不同尋常，頂尖的供應(yīng)商們現(xiàn)在開始公布成品率水平大于95%。但是很明顯，光伏（PV）制造工藝并未進步到半導(dǎo)體生產(chǎn)要求達到的成品率水平。 還有一個方面會影響成品率，在未來3至5年生產(chǎn)設(shè)備的選擇轉(zhuǎn)向加工更薄和更大的硅片。硅片厚度很快就會低于200 μm，硅片的機械性能要比以往任何時候都要脆弱。簡單來說，這些易碎硅片所采用的接觸技術(shù)將承受著近一步降低成品率水平的風(fēng)險。因此，激光加工的非接觸性質(zhì)提供了極大的內(nèi)在優(yōu)勢，它對于減少硅片的破損率和微裂紋都有好處，微裂紋是目前導(dǎo)致獲得不合格產(chǎn)品的主要問題之一。 產(chǎn)率 過去PV產(chǎn)業(yè)中制造成本的縮減是靠提高工廠的產(chǎn)率，從而通過經(jīng)濟規(guī)模降低成本，這與微電子產(chǎn)業(yè)中觀察到的現(xiàn)象相似。過去十年來，每次全球制造產(chǎn)量加倍，就會實現(xiàn)模塊成本減少20%。從這方面講，今天一個高性能的c-Si電池生產(chǎn)線可以擁有超過3000 wph的小時產(chǎn)量。工廠一般擁有幾條平行生產(chǎn)線，全年度總產(chǎn)能高達數(shù)百兆瓦，且會很快突破劃時代的吉瓦級工廠規(guī)模。成本預(yù)計會隨著薄膜面板的面積從Gen 5增大到Gen 8甚至更大，出現(xiàn)類似的降低。對于激光工藝設(shè)備供應(yīng)商而言，這意味著什么？許多c-Si激光工藝，生產(chǎn)線的產(chǎn)出規(guī)模幾乎直接與激光平均功率水平一致。因此，此處重要的推動力是由脈沖DPSS激光器提高平均功率水平，同時保持決定工藝產(chǎn)率和操作成本的特征。這包括光束的質(zhì)量、產(chǎn)品的壽命和脈沖之間的穩(wěn)定水平。圖4顯示出Q-開關(guān)355和532nmDPSS激光器的功率是如何獲得提高，與不斷增加的產(chǎn)率需求保持同步。對于薄膜面板的生產(chǎn)，DPSS激光器一般用于形成分立電池隔離和互連線的剝離，它在面板生產(chǎn)階段，在每一層沉積的薄膜上都刻蝕多達數(shù)百條薄線條。這種刻蝕工藝通常用P1、P2、P3指代，統(tǒng)稱為激光圖形結(jié)構(gòu)（圖5）。此處不能僅僅通過提高平均激光功率就能實現(xiàn)產(chǎn)能產(chǎn)率的增加，而是它們也需要具備在不同材料的薄層上高度均勻刻蝕、掃掠大型面板的功能6。光學(xué)掃描技術(shù)的速度有限，意味著必須同時使用多個激光束，因此平均功率要求是適中的。更關(guān)鍵的要求是脈沖重復(fù)頻率（PRF）。對大面板的目標掃描速率為2 米/秒時，PRF必須非常高（高達100 kHz甚至更高）才能獲得想要的貝殼狀輪廓（圖6），同時保持關(guān)鍵特征，如較短的脈沖寬度和優(yōu)異的脈沖之間的重復(fù)性。 設(shè)備兼容性、開發(fā)時間太陽能電池和面板終端用戶們現(xiàn)在擁有購買選擇，既可以購買來自全球部分供應(yīng)商的完整生產(chǎn)線，也可以購買配置不同線內(nèi)工具組成一條完整生產(chǎn)線，這種生產(chǎn)線可以為其太陽能電池品牌高度定制。這種決策對于使用設(shè)備的類型和供應(yīng)商有極大的意義，包括激光器的類型和供應(yīng)商。此外，過去幾年太陽能的增長速率連同新進入市場的廠家數(shù)目，已對最初太陽能產(chǎn)商們青睞的完整線制造系統(tǒng)供應(yīng)商們帶來了極大需求。因此，不時出現(xiàn)了送貨周期較長和生產(chǎn)開發(fā)時間較慢的報道。展望未來，認識到激光器系統(tǒng)是下一代推動工具是相當重要的，隨著太陽能產(chǎn)業(yè)的升級，這種工具要和未來技術(shù)兼容。相反，基于修正刻蝕或絲網(wǎng)印刷設(shè)備類型的工具已經(jīng)到了某些應(yīng)用線路的盡頭。這對于薄硅片加工是絕對真實的，需要接觸的工藝已經(jīng)到了當前產(chǎn)能的極限邊緣，因此這種工藝不能滿足硅片厚度低于180 μm的技術(shù)目標7。雖然新型的激光工藝可以進一步降低業(yè)界的成本和提高性能的技術(shù)藍圖，激光器本身并不是新事物。實際上，適用于微電子產(chǎn)業(yè)的激光器已經(jīng)開始大規(guī)模生產(chǎn)，交貨周期短，并且有全球的服務(wù)和支持網(wǎng)絡(luò)提供支持。 總結(jié) 如本文所指出的那樣，PV生產(chǎn)線的激光器設(shè)備的最終選擇要求設(shè)備與專門的工藝需求特別匹配。下表總結(jié)了太陽能產(chǎn)業(yè)五年技術(shù)藍圖的重大變化，絕大多數(shù)與激光設(shè)備的供應(yīng)商有關(guān)。隨著供應(yīng)鏈不斷擴大來滿足這些需求，太陽能產(chǎn)業(yè)中的激光加工有望從當前的競爭技術(shù)晉升為廣為接受的、不可或缺的技術(shù)，并將成為快速實現(xiàn)技術(shù)目標和促進太陽能產(chǎn)業(yè)整體持續(xù)增長的重要動力。